联系方式CONTACT 

当前位置: 主页 > 产品案例 >

www.d88.com

尊龙人生就是博完成6英寸硅晶片上成长氮化镓外延的爱思强CCS体系

来源:http://www.xyhngf.com 责任编辑:www.d88.com 更新日期:2018-09-26 15:44

  完成6英寸硅晶片上成长氮化镓外延的爱思强CCS体系

   德国爱思强股份有限公司(Aixtron)于4月18日宣告,剑桥大学(UniversityofCambridge)在资料科学与冶金系的新设备中成功完结另一套多晶片近耦合喷淋头?(CCS)MOCVD反应器的调试作业。

  爱思强总经理托尼·皮尔斯(TonyPearce)表明:爱思强与剑桥大学已经有很长时刻的协作,此前剑桥大学向咱们订货一套反应器,这次又取得增购另一套CCS研讨体系,这也让咱们非常骄傲。剑桥大学研讨小组已成功开展了一套世界领先的硅基氮化镓出产工艺,咱们等待看到这套新体系为他们的研制作业再助一臂之力。

  

完成6英寸硅晶片上成长氮化镓外延的爱思强CCS体系

  

爱思强的出产设备

  据爱思强称,剑桥大学该套6x2英寸的CCS体系将装备为能够处理一片6英寸(150毫米)的晶片,完成在6英寸硅晶片上成长氮化镓外延,持续推动剑桥大学在LED和电子设备方面的研制和实践。

  英国剑桥大学氮化镓中心不只具有氮化物半导体出产能力,仍是全球为数不多一起装备电子显微镜、尊龙人生就是博,X射线衍射仪、环亚娱乐ag国际厅。原子力显微镜、光致发光(PL)和霍尔效应设备等多种先进表征设备的研讨中心。此外,该研制小组还具有在氮化物半导体资料物理性质基本理论范畴的专家。

  

   氮化镓硅晶片MOCVD